一、真空閘閥的原理及使用范圍

真空閘閥的工作原理是閥門左右或上下移動(dòng)閥桿，壓縮閥板和閥座，實(shí)現(xiàn)密封。驅(qū)動(dòng)閥桿運(yùn)動(dòng)的方式有手動(dòng)、電動(dòng)、氣動(dòng)三種。手動(dòng)時(shí)，手輪旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)閥桿及閥桿上的螺母或四桿聯(lián)動(dòng)閥桿移動(dòng)閥板。

手動(dòng)和電動(dòng)傳動(dòng)部件由直流電機(jī)和齒輪箱組成。電動(dòng)操作時(shí)，電動(dòng)機(jī)按一定方向（如關(guān)閉方向）旋轉(zhuǎn)，通過傳動(dòng)部件使四桿聯(lián)動(dòng)閥桿作往復(fù)運(yùn)動(dòng)。當(dāng)閥板進(jìn)入與閥座的密封位置時(shí)，在板簧組件的作用下將閥板壓緊。

此時(shí)安裝有行程開關(guān)，自動(dòng)切斷電源，運(yùn)動(dòng)立即停止。反之，如果需要打開閥門，只需按反向按鈕即可。手動(dòng)操作時(shí)，只需松開手輪后蓋，用手轉(zhuǎn)動(dòng)手輪到一定方向即可。

圖1為CCD-A型手動(dòng)、電動(dòng)超高真空閘閥外觀圖。該閥結(jié)構(gòu)合理。閥板與閥體密封時(shí)，漏氣率小于110-7Pa·L/s；閥門總泄漏率小于510-8Pa·L/s；當(dāng)閥板打開時(shí)，閥體烘烤。溫度低于150；手動(dòng)裝置允許加熱溫度小于65；工作穩(wěn)定可靠，操作方便；它可以遠(yuǎn)程控制。氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)元件以壓縮干燥空氣為動(dòng)力，利用電磁換向閥將氣動(dòng)元件驅(qū)動(dòng)至傳動(dòng)裝置，引起閥門往復(fù)運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)啟閉功能，達(dá)到密封的目的。

真空閘閥有兩種類型：高真空閘閥和超高真空閘閥。

1、高真空插裝閥主要用于接通或切斷高真空系統(tǒng)中的氣流?？砂惭b在抽真空容器（真空室）與真空泵之間；或者它可以用于半連續(xù)真空操作中的進(jìn)料和出料容器。使用溫度為-20~80，不適用于對(duì)黑色金屬有腐蝕性或含有顆粒粉塵的氣體。

2、超高真空閘閥主要用于超高真空系統(tǒng)中接通或切斷氣流。適用介質(zhì)為清潔空氣或無腐蝕性氣體；適用溫度為閥門開啟時(shí)，閥體允許烘烤溫度小于150。

由于真空閘閥具有流導(dǎo)大、密封性能好、脫氣率低、體積小、結(jié)構(gòu)緊湊合理、操作方便、安裝位置可選等一系列優(yōu)點(diǎn)，因此真空閘閥廣泛應(yīng)用于介質(zhì)和介質(zhì)中。在大型高真空和超高真空設(shè)備的真空系統(tǒng)中。

2、真空閘閥的形式及性能參數(shù)

1、高真空閘閥的形式和基本參數(shù)有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)（JB/T 4077-91）。本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的高真空閘閥的形式和基本參數(shù)適用于1.310-5~1.0105Pa真空系統(tǒng)中用于開啟或截?cái)鄽饬鞯拈l閥。開啟閥門時(shí)，閥板兩側(cè)壓力差應(yīng)小于或等于2.7kPa。

2、我國生產(chǎn)的超高真空閘閥有手動(dòng)（CC型）、氣動(dòng)（CCQ型）、電動(dòng)（CCD型）三種類型。

適用于介質(zhì)為潔凈空氣和非腐蝕性氣體的超高真空系統(tǒng)中切斷或接通氣流。其中GC系列高真空閘閥是利用螺桿傳動(dòng)推動(dòng)鋼球運(yùn)動(dòng)，開啟閥板關(guān)閉，依靠彈簧力關(guān)閉閥板開啟的高真空閥門； GCQ系列采用壓縮空氣作為動(dòng)力，推動(dòng)鋼球運(yùn)動(dòng)。實(shí)現(xiàn)閥門的開啟和關(guān)閉。

這兩個(gè)閥門的材質(zhì)均為不銹鋼，漏氣率不超過1.310-7Pa·L/s。 GCD型系列閥門的形式與CCD型超高真空插裝閥相同，只是連接法蘭由刀口金屬密封結(jié)構(gòu)改為丁腈橡膠環(huán)密封結(jié)構(gòu)。高真空法蘭；閥體和閥板材料可為不銹鋼或碳鋼鍍鎳，閥板密封材料為丁腈橡膠。適用范圍為1.3104~105Pa。