旋片真空泵（簡(jiǎn)稱(chēng)旋片泵）是一種油封式機(jī)械真空泵。其工作壓力范圍為101325~1.3310-2（Pa），屬低真空泵。它可以單獨(dú)使用，也可以作為其他高真空泵或超高真空泵的前級(jí)泵。已廣泛應(yīng)用于冶金、機(jī)械、軍工、電子、化工、輕工、石油、醫(yī)藥等生產(chǎn)和科研部門(mén)。

旋片泵可以從密封容器中抽取干燥氣體。如果配備氣鎮(zhèn)裝置，還可以抽取一定量的可凝性氣體。但不適用于抽除含氧過(guò)多、對(duì)金屬有腐蝕性、與泵油發(fā)生化學(xué)反應(yīng)、含有顆粒粉塵的氣體。

旋片泵是真空技術(shù)中最基本的真空獲得設(shè)備之一。旋片泵多為中小型泵。旋片泵有單級(jí)和雙級(jí)類(lèi)型。所謂雙級(jí)泵，是指結(jié)構(gòu)上兩臺(tái)單級(jí)泵串聯(lián)而成。一般制成兩級(jí)以獲得較高的真空度。旋片泵的抽速與進(jìn)口壓力的關(guān)系規(guī)定為：進(jìn)口壓力為1333Pa、1.33Pa、1.3310-1（Pa）時(shí)，抽速值應(yīng)不小于95% 、 50% 和20%。

旋片泵工作原理示意圖

旋片泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。轉(zhuǎn)子偏心安裝在旋片泵的腔體內(nèi)。轉(zhuǎn)子的外圓與泵腔的內(nèi)表面相切（兩者之間有很小的間隙）。轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有兩個(gè)帶彈簧的旋轉(zhuǎn)葉片。旋轉(zhuǎn)時(shí)，離心力和彈簧拉力使旋片頂部與泵腔內(nèi)壁接觸。轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋片沿泵室內(nèi)壁滑動(dòng)。

兩個(gè)旋轉(zhuǎn)葉片將轉(zhuǎn)子、泵室和兩端蓋圍成的月牙形空間分成A、B、C三部分，如圖所示。當(dāng)轉(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，與吸氣口相連的空間A的體積逐漸增大，進(jìn)行吸氣過(guò)程。與排氣口相連的空間C的體積逐漸縮小，處于排氣過(guò)程。中心的空間B的體積也在逐漸縮小，并處于壓縮過(guò)程中。由于空間A的體積逐漸增大（即膨脹），因此氣體壓力降低。泵進(jìn)口處的外部氣體壓力大于空間A內(nèi)的壓力，因此氣體被吸入。

當(dāng)空間A與吸氣口隔離時(shí)，即轉(zhuǎn)向空間B的位置時(shí)，氣體開(kāi)始被壓縮，體積逐漸縮小，最后與排氣口連通。當(dāng)壓縮氣體超過(guò)排氣壓力時(shí)，排氣閥被壓縮氣體推開(kāi)，氣體穿過(guò)罐內(nèi)的油層，排放到大氣中。通過(guò)泵的連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)來(lái)達(dá)到連續(xù)抽氣的目的。如果排出的氣體經(jīng)過(guò)空氣通道，轉(zhuǎn)移到另一級(jí)（低真空級(jí)），則被低真空級(jí)抽走，再經(jīng)低真空級(jí)壓縮后排放到大氣中，形成兩級(jí)級(jí)泵。此時(shí)，總壓縮比由兩級(jí)承擔(dān)，從而提高了極限真空度。